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●本報記者宋維東

日前，上交所正式受理沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司（簡稱富創(chuàng)精密）科創(chuàng)板上市申請。富創(chuàng)精密是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件領(lǐng)軍企業(yè)，也是全球為數(shù)不多的能夠量產(chǎn)應(yīng)用于 7 納米工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備的精密零部件制造商。富創(chuàng)精密表示，公司未來將不斷加大技術(shù)研發(fā)投入，繼續(xù)提升工藝水平和產(chǎn)品性能；繼續(xù)大力開拓國際國內(nèi)主要半導(dǎo)體設(shè)備廠商，創(chuàng)造更大發(fā)展空間。

聚焦半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件領(lǐng)域

富創(chuàng)精密產(chǎn)品主要為半導(dǎo)體設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備及其他領(lǐng)域的精密零部件，主要包括工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組產(chǎn)品和氣體管路等。

工藝零部件主要是半導(dǎo)體設(shè)備中晶圓制備工藝的關(guān)鍵零部件，少量應(yīng)用于泛半導(dǎo)體設(shè)備及其他領(lǐng)域。該類產(chǎn)品一般需要經(jīng)過高精密機械制造和復(fù)雜的表面處理特種工藝過程，具備高精密、高潔凈、超強耐腐蝕能力、耐擊穿電壓等特點。工藝零部件一般用于刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、離子注入設(shè)備和化學(xué)機械拋光設(shè)備等。富創(chuàng)精密主要工藝零部件產(chǎn)品包括腔體、內(nèi)襯和勻氣盤等。

結(jié)構(gòu)零部件應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、面板及光伏等泛半導(dǎo)體設(shè)備和其他領(lǐng)域中，一般起連接、支撐和冷卻等作用，對平面度和平行度有較高要求，部分結(jié)構(gòu)零部件同樣需要具備高潔凈、強耐腐蝕能力和耐擊穿電壓等性能。富創(chuàng)精密的結(jié)構(gòu)零部件代表性產(chǎn)品包括托盤軸、鑄鋼平臺、流量計底座、定子冷卻套和冷卻板等。

工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、外購電子標(biāo)準(zhǔn)件和機械標(biāo)準(zhǔn)件等經(jīng)過組裝、測試等環(huán)節(jié)可制成具有特定功能的模組產(chǎn)品，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備。富創(chuàng)精密模組產(chǎn)品包括離子注入機模組、傳輸腔模組、過渡腔模組、閥體模組和氣柜模組等。

氣體管路產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備中的特殊工藝氣體傳送，是連接氣源到反應(yīng)腔的傳輸管道。晶圓加工過程中的氣體具有純度高、腐蝕性強、易燃易爆及有毒性等特點，因此對管路的密封性、潔凈度及耐腐蝕能力有較高要求。

值得一提的是，自 2018 年以來，富創(chuàng)精密進(jìn)入 HITACHIHigh-Tech、ASMI 等多個全球半導(dǎo)體設(shè)備龍頭廠商供應(yīng)鏈體系。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的崛起，富創(chuàng)精密積極開拓國內(nèi)市場，實現(xiàn)了對主流國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的量產(chǎn)配套，內(nèi)銷收入規(guī)模不斷提升。

同時，公司氣體管路和模組功能部件制造能力日趨完善，并在江蘇南通和北京亦莊等地積極擴大產(chǎn)能。

厚植技術(shù)優(yōu)勢

富創(chuàng)精密表示，半導(dǎo)體設(shè)備廠商往往為輕資產(chǎn)模式運營，其絕大部分關(guān)鍵核心技術(shù)需要物化在精密零部件上，或以精密零部件作為載體來實現(xiàn)。

值得注意的是，半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件產(chǎn)品具備高精密、高潔凈、高耐腐蝕性、耐擊穿電壓等性能，生產(chǎn)過程涵蓋精密機械制造、工程材料、表面處理科學(xué)、電化學(xué)等多個領(lǐng)域和學(xué)科，是半導(dǎo)體設(shè)備制造環(huán)節(jié)中難度較大、技術(shù)含量較高的環(huán)節(jié)之一。

富創(chuàng)精密結(jié)合多年的技術(shù)研發(fā)與項目實踐經(jīng)驗所積累的科研成果，在精密機械制造、表面處理特種工藝、焊接等半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件關(guān)鍵環(huán)節(jié)具備了良好的技術(shù)能力。同時，公司具備多品種、小批量、定制化制造能力，并可實現(xiàn)在嚴(yán)苛的半導(dǎo)體級別質(zhì)量體系下的高生產(chǎn)效率。

在精密機械制造領(lǐng)域，公司通過高端數(shù)控機床的設(shè)備選型、加工流程設(shè)計、精密加工程序的自主二次開發(fā)及加工刀具、夾具、輔助切削液的自主設(shè)計和調(diào)配，可實現(xiàn)產(chǎn)品極高的工藝水平。

在表面處理特種工藝領(lǐng)域，公司擁有較為齊備的表面處理特種工藝，具備自主專利技術(shù)等，能實現(xiàn)包括化學(xué)清洗、陽極氧化、電解拋光、電鍍鎳、化學(xué)鍍鎳和陶瓷噴涂等多種高潔凈、超強耐腐蝕、耐擊穿電壓的工藝技術(shù)及檢測能力。

在焊接領(lǐng)域，富創(chuàng)精密具備電子束焊接、激光焊接等多種焊接技術(shù)，可針對鋁合金、不銹鋼、高溫合金、哈氏合金、錸合金等多種金屬材料進(jìn)行焊接，并針對客戶零部件產(chǎn)品特點選取適合的焊接方式。

富創(chuàng)精密設(shè)有集成電路裝備零部件精密制造技術(shù)國家地方聯(lián)合工程研究中心（遼寧）、遼寧省集成電路裝備零部件精密制造專業(yè)技術(shù)創(chuàng)新中心。此外，公司還是第三批專精特新小巨人企業(yè)、國家高新區(qū)瞪羚企業(yè)、遼寧省瞪羚企業(yè)、2018 年度沈陽市科技小巨人企業(yè)。

投建智能制造生產(chǎn)基地

招股說明書顯示，富創(chuàng)精密本次發(fā)行募集資金扣除發(fā)行費用后將用于集成電路裝備零部件全工藝智能制造生產(chǎn)基地項目和補充流動資金。其中，集成電路裝備零部件全工藝智能制造生產(chǎn)基地項目擬使用募集資金 10 億元，補充流動資金項目擬使用募集資金 6 億元。

集成電路裝備零部件全工藝智能制造生產(chǎn)基地項目，將新建精密機械制造、焊接、表面處理特種工藝、鈑金、管路、組裝生產(chǎn)線，并搭建智能信息化管理平臺，打造具備核心技術(shù)能力的集成電路裝備零部件全工藝智能制造生產(chǎn)基地。

富創(chuàng)精密表示，在全球產(chǎn)業(yè)不斷增長的大背景下，精密零部件配套供應(yīng)能力亟需加強。特別是行業(yè)景氣度提升以及我國半導(dǎo)體設(shè)備廠商崛起，公司訂單量快速增加，產(chǎn)能逐步消化，產(chǎn)能利率用逐步提升。公司將借助這一募投項目擴大現(xiàn)有產(chǎn)品產(chǎn)能，提高產(chǎn)品科技含量。

對于未來發(fā)展，富創(chuàng)精密表示，公司將持續(xù)加大科研投入，加快智能化柔性化工廠建設(shè)進(jìn)度和客戶開拓力度，積極參與客戶新產(chǎn)品開發(fā)設(shè)計過程。公司通過與客戶共同設(shè)計、聯(lián)合開發(fā)，進(jìn)一步提升技術(shù)水平和市場競爭力，使產(chǎn)品實現(xiàn)從精密零部件到組件再到復(fù)雜模塊的結(jié)構(gòu)優(yōu)化。

本文源自中國證券報

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